国内石英坩埚生产企业生产中使用的生产设备及工艺技术全部源于上世纪70年代初锦州155厂从日本引进的生产设备及工艺技术,该项技术设备自动化程度不高,整个生产过程中更多的依靠人工来实现,现在国内新上的坩埚生产设备都已经往自动化发展。
原辅材料
主要原料:高纯石英砂
主要指标:(单位:ppm) 元素名称 Al Fe Ca Mg Ti Ni Mn Cu Li Na K Co B 含量 11.6 0.3 0.5 0.5 1.0 0.01 0.05 0.01 0.7 0.43 0.42 0.03 0.04 1、辅料:
①石墨电极采用φ76mm粗高纯电极棒
灰份:<80PPm
假比重:1.6g/cm
比电阻:<15×10Ω.cm
抗弯强度:>1.47×10Pa
②石墨模具
灰份:<200PPm
假比重:16g/cm
抗弯强度:>1.67×10Pa
③大尺寸石英遮热板
纯度:Al<200 Na<30 Li<30
Fe<30 K<30