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石英坩埚产生变形的主要原因
发布时间:2016年09月26日    点击次数:    作者:石英仪器

  石英坩埚产生变形的原因可能有以下几点:

  1.装料方法不当。在液位线上的料与石英坩埚的接触呈面接触状态,这在熔料过程中容易发生挂边导致坩埚变形。坩埚最上部全部装了碎小细料,这在熔料时易发生下部已溶完,上部呈结晶状态而造成坩埚变形。

  2.熔料方法不当。

  3.温度过高。由于硅熔点为1420℃,一般的熔料温度在1550——1600℃左右,如果熔料温度过高,在熔料过程中极易发生变形。

  4.温度过低。当熔料料温度偏低时,坩埚上部的料与埚壁接触处易发生似熔非熔的状态,当下部料熔完上部已挂边的块料将石英坩埚下拉二发生变形。

  5.原料质量参差不齐,齐所含杂质远高于原始多晶,酸洗工艺不尽完善,这对坩埚的正常使用影响也非常大,主要表现在容易发生严重析晶。

  6.石英本身存在质量问题。石英坩埚在生产,清洗,包装中受到沾污发生析晶(包括液位线以上的部分)这样石英坩埚原有的厚度会减薄,强度也随之下降,容易发生变形。
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