由于石英玻璃网络结构中有很多不规则的空隙，使许多气体有可能进行扩散和渗透，特点是原子直径比较小的气体如氦、氖、氢等在石英玻璃中渗透性比较大，而氮、氧等原子比较大,活度比较小的气体，即使在600-700oC温度下，在石英玻璃中渗透扩散是较低的，故石英玻璃可作10-5-10-6mmHg负压和加热情况下的操作器皿，可用在高温真空设备中。

　　石英玻璃的结构十分松弛，甚至在高温下还允许某些气体的离子通过网络进行扩散，其中以钠离子的扩散为最快。石英玻璃的这一性能对于使用者尤为重要，例如，半导体工业用石英玻璃作为高温容器或扩散管时，由于半导体材石英玻璃合成石英玻璃料要求很高的纯度，所以要求与石英玻璃接触的作为炉衬的耐火材料必须预先经过高温和清洁处理，除掉钾、钠等碱性杂质，然后才能放入石英玻璃内使用。各种离子在石英玻璃中的扩散系数。