作为一种高质量材料,石英玻璃的使用范围非常广泛。
半导体生产的各项工序中。比如,直拉法把多晶转化成单晶硅;
清洗时用的清洗槽;扩散时用的扩散管、刻槽舟;离子注入时用的钟罩等。由于种类、工艺、原料的不同,国外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及没有明确概念的透明、半透明、不透明石英等。我
国统称石英玻璃,多按工艺方法、用途及外观来分类,如电熔透明石英玻璃、连熔石英玻璃、气炼透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光学石英玻璃、半导体用石英玻璃、电光源用石英玻璃等。