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石英坩埚喷涂氮化硅脱模剂作业指南
发布时间:2016年06月22日    点击次数:    作者:石英仪器

  a.作业准备

  1、准备好PVC手套、帆布手套、无尘帽、专用防尘面具;

  2、穿戴好劳保鞋、防尘服、防尘口罩、PVC手套。

  b.调整喷枪

  1、准备好一张硬纸板放在旋转台旁边,洁净面向外进行调试喷枪;

  2、调节喷枪压力及流量,将喷涂宽度调到10-15cm,用红外测温枪测量坩埚底面和四个测温面温度都达到80-100℃时,开始试枪进行喷涂。

  c.喷涂作业

  1、喷涂要求:垂直喷涂坩埚面25-30CM,流量和气压放小,速度要慢、匀速,喷涂要均匀。

  2、先将坩埚底面横向均匀喷一遍,左右2个侧面纵向均匀喷一遍,旋转台旋转90°后对余下的两个侧面进行纵向均匀喷涂,用测温枪测量坩埚五面温度,等待温度上升到80℃-90℃时再继续喷涂。

  3、坩埚喷涂以十字交叉喷涂为宜,在喷涂过程中时刻注意涂层质量,如有异常及时调整喷涂方法。

  d.卸埚及清理

  1、喷涂完毕后用手电筒检查涂层质量,等旋转台温度降下来将坩埚卸下,抬到手推车上,卸坩埚过程中需戴帆布手套,不能触摸坩埚涂层,抬坩埚时两人要配合好,防止坩埚磕碰;卸下坩埚后盖上干净的纸盒子,推到坩埚放置区,室温放置。

  2、将喷枪和盛放浆液的容器进行彻底清洗干净,清理好将烧杯等工具并放置指定位置,并将喷涂台拭擦干净,整理好。

  3、喷涂好的坩埚控制在10-24h范围内装料投炉。

  注意事项:

  1、喷枪要平行,喷涂路线要垂直,确保涂层的均匀性;

  2、喷涂时要注意喷枪雾化效果,如有异常及时调整;

  3、喷涂失败的坩埚用纯水清洗干净后要进行100℃烘干三个小时以上才能进行下次喷涂;

  4、喷涂过程中注意监控坩埚表面温度是否在80-90℃范围内,若温度过高,可关闭加热板电源,稍作停顿后待温度下降到范围内在进行喷涂;若温度较低,可适当调高加热板的设定温度后稍作停顿待温度回升到范围内再进行喷涂;

  5、抬坩埚时注意不要触摸到坩埚内壁,以防止污染坩埚,并要轻抬轻放,避免磕碰。
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