石英玻璃管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃,是一种非常优良的基础材料,其具有一系列优良的物理、化学性能。其中石英玻璃是信息产业的重要材料之一,其应用领域广泛,
近日,从国家科技部获悉,“集成电路用厚壁大口径(直径80-200mm、壁厚4-10mm)石英玻璃管”新产品被科技部认定为国家重点新产品,该产品拥有全部的自主知识产权,已申请发明专利3项,刷新了我国用连熔法生产该产品的记录,填补了国内的空白,改变了长期依赖进口的局面。
厚壁大口径透明石英玻璃管主要应用于半导体技术的集成电路制造、航天工业、激光技术、通信技术、石油、化工、食品、医疗仪器器皿等领域,并是延伸加工扩散管、大型扩散钟罩、氧化管、CVD管、石英舟、法兰、石英清洗槽、方缸、球形接头、源瓶、石英炉门、悬壁套管、耐高温涂层管的重要原料。
在优先发展拥有核心技术及自主知识产权高新技术产业的新形势下,该产品已成为制约我国IC芯片产业自主发展的瓶颈,在此背景下,东海县宝盛石英制品有限公司研发出具有自主知识产权的技术及产品,打破了国外的技术垄断,使我国IC产业发展不再受制于人,对我国航空航天信息产业等高新技术领域的发展及江苏电子、半导体等产业结构调整与技术升级都具有重要意义。