石英玻璃加工是光技术开发的核心技术之一。但由于光技术材料坚硬难以加工，科学家一直在追求大面积加工的方法。11日，开发出利用激光化学加工技术对石英玻璃等表面进行精细加工的装置，能在表面硬度高、历来难以加工的石英玻璃等坚硬表面进行高品位精细加工。
该装置利用了产业技术综合研究所独自开发的不需表面膜层的“激光背面湿式加工法”，完成了高精度的曝光掩膜缩小型和激光扫描照射型两种加工装置。该装置免除了历来加工石印不可缺少的保护膜层，能够迅速进行石英玻璃高品位大面积加工。曝光掩膜缩小型能够进行高形状比的深槽加工，扫描照射型能够从CAD加工数据中直接进行高速复写加工，可不事先制作类型掩膜迅速进行5×5厘米的大面积加工。
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