石英玻璃由于高纯石英材料耐温,耐酸,低膨胀和极佳的管够透过性的特殊物理性能,满足了半导体工业对载具材料中碱金属和重金属含量的苛刻要求,成为该领域中不可缺少的材料。由其制造的扩散管,钟罩等贯穿了半导体制程扩散、氧化、沉积、蚀刻等关键过程。随着工艺的精进,石英材料在半导体生产过程中的到了更广泛的应用。
石英玻璃凭借其高纯度、耐高温、低热膨胀性、化学稳定性强等优良性能,在半导体芯片制造加工中被广泛应用。半导体石英产品种类繁多,主要用于硅片制造环节的拉制单晶的石英坩埚、多个晶圆制造的核心环节的硅片承载器具(扩散、氧化环节的扩散管、舟、支架等;刻蚀环节的石英环等;清洗环节的石英玻璃花篮、清洗槽等)以及光刻环节使用的光掩膜版的基板材料。
半导体是石英玻璃最主要的下游应用领域之一,需求空间百亿量级:半导体是石英玻璃最主要的下游应用领域,需求空间百亿量级。根据石英玻璃协会报告,2014 年全球石英玻璃市场规模超过200亿元人民币,其中半导体是石英玻璃最主要的下游应用,市场占比超过60%,其中半导体石英坩埚、前端工序石英器件、光掩膜基板市场空间分别约40 亿、60 亿、45 亿元人民币。
根据其他口径测算,2017 年全球半导体级石英材料市场规模在20 亿美元以上,半导体石英器件规模约13 亿美元(分为高温区器件、低温区器件,规模大致相当),光掩膜版基板材料市场规模约10 亿美元(包含部分苏打玻璃,石英玻璃占比处于提升趋势)。
根据石英行业协会报告,2013年整个半导体石英器件规模约10亿美元,而根据SEMI数据,2017年半导体晶圆设备销售额、硅片出货量均相比2013年增长了30%,简单按同比例测算,当前半导体石英器件的市场规模约为13亿美元,已接近百亿人民币量级。