大口径石英管使用时间长了,需要清洗,清洗大口径石英管要注意几点?
1、清洗人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套,然后将备用大口径石英管放入大口径石英管清洗机靠近里面的槽内,管口朝向制绒间,管尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门,将酸槽清洗时间设定为30min,按下控制面板中“酸槽启动”按钮。
2、清洗槽内如果存有以前用过的氢氟酸溶液,溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸(由生产人员调配);如果原有的氢氟酸溶液很脏,则应全部排空并洗净槽体,然后通知生产人员配液;如果槽内无以往剩下的氢氟酸溶液,洗净槽体后请生产人员配液。