在使用石英舟时,如何在操作石英舟呢?下面小编为您介绍石英舟应该怎么使用!
1、石英舟为易碎物品,操作的时候 必须轻拿轻放;
2、石英舟上、下舟必须2个人配合进行操作;且在移动过程中两人要面对面水平移动;
3、在平时作业中不可用手或其它物品及工具敲打石英舟;
4、如石英舟使用到需要清洗时;由两名清洗人员轻轻抬上专用推车上;一人推推车;另外一人在旁边手扶石英舟以防止推车受到碰撞而损坏石英舟;
5、在将石英舟放在桨上准备进炉时要先确认好石英舟放置是否平稳并恰到固定位置;同时要注意避免和设备以及其他位置有碰撞的现象;
6、在取需要清洗石英舟途中遇到通门口时一人打开门并让门固定不要摆动而碰撞石英舟;并确定和两边门框没有接触后轻轻推过去;
7、在清洗过程请按照工艺提示单以及SOP规定作业,且特别注意在上舟到清洗机内清 洗或清洗OK取出舟时在确认没有和清洗机有接触碰撞的可能性方可移动到指定放置台面上,且放置台面必须保持干净无水渍;
8、硅片扩散完成后,石英舟为高温状态,移动石英舟一定要佩戴耐高温手套;
9、在将石英舟放进洁净柜中是要先将洁净柜门打开;轻轻放进将要放进的层面上,并轻轻两边同时用力放到柜的最里面;
10、为保证扩散的质量,必须每15天对石英舟进行清洗一次;清洗完按照工艺提示规 定做饱和工作;
11、对不按照规定进行石英舟操作的员工,一经发现将严肃处理;
12、石英舟每个班进行交接,如有异常情况必须12小时内报告到制造部经理;
13、如不按照上述规定作业的,而损坏石英舟的给予重罚;具体将参照公司经济损失以及制造内部相关规定;