溶解在石英玻璃中的水称为羟基。羟基是石英玻璃中的主要杂质，影响羟基含量的主要因数是原料，工艺和加工方法。随着石英玻璃中羟基含量的变化，石英玻璃的性能也发生变化。随着羟基含量增加，石英玻璃的粘度，密度，折射率减小，红外吸收，膨胀系数增加。
根据羟基在石英玻璃中的表现，可以把石英玻璃分成两类，一类是氧化气氛生产的石英玻璃；另一类是还原气氛熔化的石英玻璃，前者的羟基用加热的方法难以去掉，后者容易脱掉。
氧化气氛生产的的石英玻璃有：
（1）合成石英玻璃，四氯化硅在氢氧焰中热解，羟基含量1000--2000ppm左右。
（2）气炼石英玻璃：氢氧焰熔化石英粉，羟基含量100-200ppm
（3）等离子法石英玻璃：用等离子焰熔化石英粉，基含量20-30ppm。
（4）熔石英：空气气氛下，熔化石英粉，羟基含量300-500ppm。
这类石英玻璃的羟基用热处理方法难以脱掉，一直加热到1350度，析晶温度以上时，才可以明显的脱羟。
还原气氛熔化的石英玻璃：
在氢气气氛下熔化的石英玻璃，羟基含量100-200ppm；在900度以上加热，可以脱掉大部分羟基。在氦气或真空中熔化的石英玻璃羟基含量很少（5ppm以下）。
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