石英玻璃制品,石英玻璃坩埚,由于其杂质含量不适于要求高纯度的用途。透明内壁的制造要求费用高昂的附加温度处理。那么有关石英玻璃坩埚制造方法是什么?
不透光的外区实质上不透过可见光谱区的光,但对于红外光谱区的光则是基本透明的。IR-区的射线损失在坩埚壁上时产生明显的温度梯度。但是通过提高坩埚内熔融物的温度对射线损失的补偿可能使坩埚壁变软、变形,并导致壁下陷,从而使坩埚的寿命缩短。对具有大内容量的坩埚这种问题特别明显,大容量坩埚的寿命通常比小坩埚长。
制造石英玻璃坩埚的方法同样要求用单独的工序制造内层,因而费用亦是较高的。
制造一种石英玻璃坩埚,其特征在于高的纯度和高的不透明度,即在IR-区的低的透射,而且还提出一种简单的、费用合理的制造方法。
石英玻璃坩埚,该目的是通过引言中提及的本发明的坩埚达到的,即该坩埚体由合成石英颗粒制造,其比表面积(按BET)为0.5m2/g-40m2/g、捣实密度至少为0.8g/cm3,该颗粒由SiO2-基粒的至少部分多孔的聚集体构成。
石英玻璃坩埚完全由合成制造的SiO2组成。由于这种高纯原料,石英玻璃坩埚总特征是纯度高。勿需采取措施防止杂质从石英玻璃坩埚迁移到内含的熔融物中。
坩埚体包括由不透明石英玻璃外区和透明石英玻璃内区。外区和内区是相互连接的整体区域。即在外区和内区之间无任何明显的确定的界面。
石英玻璃坩埚由合成SiO2颗粒制成。通过相应的颗粒装料的玻璃化得到不透明的外区和透明的内区。在玻璃化过程中,玻璃化锋面从内向外转移。颗粒中的开孔和孔道在此过程中将被封闭,气体朝模内壁的方向排出。基于内区范围内剧烈的温度作用(较高的温度和较长的加热时间),这类无孔的或这类少孔的内区具有的密度至少为2.15g/cm3。此密度接近透明石英玻璃的密度。因此内区的机械性质和化学性质相当于致密的透明石英玻璃,例如机构强度和硬度、抗腐蚀和抗化学侵蚀。